真空退火爐的開爐和停爐操作如下：
開爐：
1.首先檢查爐子是否有異常狀況，如清除殘留物質(zhì)等。
2.啟動(dòng)機(jī)械設(shè)備，打開真空泵進(jìn)氣閥和進(jìn)氣室閥門。打開冷卻水閥并調(diào)節(jié)好壓力和水溫。
3.將樣品或襯底放到爐子內(nèi)，并關(guān)閉爐門。
4.打開真空泵開關(guān)，開始抽真空。當(dāng)真空度達(dá)到要求后，關(guān)閉真空泵進(jìn)氣閥和進(jìn)氣室閥門。
5.打開加熱控制系統(tǒng)的開關(guān)，調(diào)節(jié)溫度和時(shí)間等參數(shù)，開始加熱處理。
停爐：
1.將加熱控制系統(tǒng)設(shè)定為0溫度。
2.關(guān)閉冷卻水閥，并允許爐子冷卻至安全范圍內(nèi)。
3.打開真空泵進(jìn)氣閥和進(jìn)氣室閥門，開始通氣。
4.等待真空度下降至安全范圍，關(guān)閉真空泵開關(guān)。
5.打開爐門，取出樣品或襯底。清空爐內(nèi)雜物等，檢查爐子是否有異常狀況。
6.關(guān)閉進(jìn)氣閥和進(jìn)氣室閥門，關(guān)閉機(jī)械設(shè)備。