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2020-10
真空退火爐是如何進行開爐及停爐的
真空退火爐的開爐和停爐操作如下：開爐：1.首先檢查爐子是否有異常狀況，如清除殘留物質等。2.啟動機械設備，打開真空泵進氣閥和進氣室閥門。打開冷卻水閥并調節(jié)好壓力和水溫。3.將樣品或襯底放到爐子內，并關閉爐門。4.打開真空泵開關，開始抽真空。當真空度達到要求后，關閉真空泵進氣閥和進氣室閥門。5.打開加熱控制系統(tǒng)的開關，調...
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