真空燒結(jié)爐是半導(dǎo)體專用設(shè)備系列中的一種新式工藝設(shè)備，設(shè)計(jì)新穎，操作便利，結(jié)構(gòu)緊湊。它可以在一臺(tái)設(shè)備上完結(jié)多個(gè)工藝流程。裝置現(xiàn)場(chǎng)應(yīng)符合真空衛(wèi)生要求，周圍空氣清潔枯燥，通風(fēng)杰出，工地不易揚(yáng)塵等。   裝置真空燒結(jié)爐的場(chǎng)所應(yīng)符合真空衛(wèi)生的要求。

　　周圍的空氣應(yīng)清潔和枯燥，并有杰出的通風(fēng)條件，工作場(chǎng)地不易揚(yáng)起塵埃等。查看操控柜中所有部件及配件是否齊備、完好。操控柜裝置在相應(yīng)的地基上，并固定。安照接線圖，并參考電氣原理圖，接通外接主回路及操控回路，并牢靠接地，確保接線無(wú)誤。

　　查看電器可動(dòng)部分應(yīng)活動(dòng)自若，無(wú)卡死現(xiàn)象。絕緣電阻應(yīng)不低于2兆歐姆。真空電爐各閥門必須在封閉位置。操控電源開(kāi)關(guān)放在關(guān)位。手動(dòng)調(diào)壓旋鈕逆時(shí)針旋動(dòng)頭。報(bào)警鈕放在開(kāi)位。

　　按平面圖完結(jié)設(shè)備的循環(huán)冷卻水聯(lián)接，建議在設(shè)備總進(jìn)出水管處再接入一備用水（可用自來(lái)水），防止循環(huán)水有毛病或斷電導(dǎo)致密封圈燒壞。裝置完畢后，抽低真空，等水路接通后可試燒一爐，加熱手動(dòng)/主動(dòng)升溫，溫度不低于1600℃，加熱時(shí)刻不少于4小時(shí)，預(yù)燒完畢后在降溫階段可對(duì)分散泵加熱。